Synthese von nichtoxidkeramischen Schichten aus kondensierten Precursoren mittels DC- und HF-Plasma

• Antragsteller: Dr.-Ing. Rudolf Henne
• Fachliche Zuordnung: Werkstofftechnik
• Förderung: Förderung von 1997 bis 2001
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5390901

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Schwerpunktprogramme
• Teilprojekt zu: SPP 1037: Neue Precursorkeramik aus kondensierten molekularen Vorstufen
• Beteiligte Personen: Professor Dr. Eberhard Müller; Professor Dr. Gerhard Roewer (†); Dr. Günter Schiller, Ph.D.; Professor Dr.-Ing. Johannes Wilden