Analyse von segregierten Phasen in multikristallinem Silizium

• Antragsteller: Dr. Matthias Heuer
• Fachliche Zuordnung: Experimentelle Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung von 2002 bis 2003
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5396631

Ausscheidungen von Fremdphasen in Halbleitermaterialien sind Gegenstand aktueller Forschung, da sie sich negativ auf die Effizienz von Halbleiterbauteilen auswirken. Dadurch ergibt sich die Frage nach ihren Bildungsmechanismen und nach den Möglichkeiten der Vermeidung oder der Beseitigung von Fremdphasenausscheidungen. Bei den genannten Verunreinigungen handelt es sich hauptsächlich um kleinste Partikel in nm- Größenordnungen, was deren Analyse auf elektronenmikroskopische Untersuchungen begrenzt, und die Anwendung von Methoden wie Röntgenbeugungs- und Mikrosondenanalytik stark einschränkt oder sogar ausschließt. Neueste Analysenmethoden, die durch die fortschreitende Entwicklung von Synchrotronquellen nutzbar werden, sollen deshalb im Rahmen des hier vorgeschlagenen Projektes mit den Möglichkeiten der Elektronenmikroskopie kombiniert werden, um die obengenannten Fremdphasen zu charakterisieren. Die Untersuchungen dieses Forschungsvorhabens konzentrieren sich dabei auf multikristallines Silizium, ein Material, welches in der Photovoltaik relevant ist.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen