Funktionsbezogene Bewertung von Nanorauheiten auf fertigungsrelevanten Oberflächen durch Streulichtmessverfahren - Phase III

• Applicant: Professor Dr. Andreas Tünnermann
• Subject Area: Microsystems
• Term: from 2004 to 2011
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5436555

Das Projektvorhaben zielt auf Strategien zur 3-D- Charakterisierung von Nanostrukturen auf fertigungstechnisch relevanten Oberflächen durch Streulichtmessverfahren. Aus den Messdaten sollen Rauheitskenngrößen sowie funktionsbezogene Kenngrößen abgeleitet werden. Streulichtverfahren sind dafür als besonders vorteilhaft anzusehen, da sie bei hoher Sensitivität gleichzeitig robust, schnell, berührungslos und flächendeckend arbeiten können und sich damit für den produktionsnahen bis hin zum produktionsintegrierten Einsatz unmittelbar anbieten. Derzeit existieren aber noch keine Streulichtverfahren, die eine konsistente Bewertung von Nanorauheiten sowohl in der Fertigung sehr großer als auch sehr kleiner Applikationsflächen zulassen. Im Projektvorhaben sollen deshalb Konzeptionen erarbeitet werden, die bisherige Laborverfahren nunmehr für die Prüfung von Nanostrukturen auf a) großen Fertigungsflächen mit Ausdehnungen bis in den m2 -Bereich und b) Mikrosystemkomponenten qualifizieren. Die Verfahren sollen gleichzeitig so konzipiert werden, dass die Kombination mit Rasterkraftmikroskopie (AFM) als lokalem Verfahren zu Synergieeffekten und fusionsfähigen Messdaten führt. Die abzuleitenden Rauheits- und funktionsbezogenen Kenngrößen sollen konsistent für alle Anwendungsfelder und normungsrelevant sein.

• DFG Programme: Priority Programmes
• Subproject of: SPP 1159: New Strategies for Measurement and Test Techniques for Production of Microsystems and Nanostructures
• Participating Person: Dr. Angela Duparré