Nanoscale Optical Lithography Setup

• Subject Area: Systems Engineering
• Term: Funded in 2024
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 544668839

No abstract available

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Major Instrumentation: Nanoskalig optisches Lithographie Setup
• Instrumentation Group: 0910 Geräte für Ionenimplantation und Halbleiterdotierung
• Applicant Institution: Carl von Ossietzky Universität Oldenburg
• Leader: Professor Dr. Christian Schneider