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Projekt
Nanoskalig optisches Lithographie Setup
Fachliche Zuordnung
Systemtechnik
Förderung
Förderung in 2024
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 544668839
Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren
Forschungsgroßgeräte
Großgeräte
Nanoskalig optisches Lithographie Setup
Gerätegruppe
0910 Geräte für Ionenimplantation und Halbleiterdotierung
Antragstellende Institution
Carl von Ossietzky Universität Oldenburg
