Untersuchung der thermodynamischen Eigenschaften von CVD-Vorläufern

• Antragsteller: Professor Dr. Burak Atakan
• Fachliche Zuordnung: Technische Thermodynamik
• Förderung: Förderung von 2005 bis 2008
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5450549

Im Verlauf des SPP 1119 wurden verschiedene neue CVD/CVS Precursorensynthetisiert und deren erfolgreicher Einsatz demonstriert. Um nun einetechnische Anwendung zu ermöglichen, sind thermodynamische Daten dieserVorläufer notwendig; diese sind zentral bei der Auslegung von Verdampfern.Ebenso muss die Langzeitstabilität bekannt sein, wenn bei technischen ProzessenVerdampfer über Tage betrieben werden sollen. Aufgrund des niedrigenDampfdruckes der meisten Vorläufer sind selten verlässliche Daten vorhanden,auch bereitet die Handhabung geringer Pulvermengen in einem Verdampfer häufigSchwierigkeiten. Im Rahmen des beantragten Projektes sollen insbesondereSublimations- und Dampfdruckkurven für besonders viel versprechende, erfolgreicheingesetzte Precursoren aus dem SPP bestimmt werden, ebenso wieDiffusionskoeffizienten und Langzeitstabilitäten bei typischenVerdampfertemperaturen. Für Systeme, bei denen Lösungen in den CVD-Reaktoreingebracht und verdampft werden, sollen auch die Aktivitätskoeffizientenermittelt werden, anhand derer entsprechende Liquid Injection Systeme ausgelegtwerden können. Als Grundlage für ein neues Verdampferkonzept soll für einigeCVD-Precursoren die Verdampfung aus Lösungen ionischer Fluide untersucht werden.Ein solches Verfahren hätte den Vorteil, dass Verdampfer für Flüssigkeiteneinsetzbar wären, ohne dass unerwünschte zusätzliche Komponenten in die Gasphaseeingebracht werden.

• DFG-Verfahren: Schwerpunktprogramme
• Teilprojekt zu: SPP 1119: Anorganische Materialien durch Gasphasensynthese: Interdisziplinäre Ansätze zu Entwicklung, Verständnis und Kontrolle von CVD-Verfahren