Development and realisation of a 3D nanolithography and nanomeasuring machine for the measurement and structuring of most advanced optical elements in a range of 1000 mm x 1000 mm x 200 mm with subnanometer precision

• Applicants: Professor Dr.-Ing. Thomas Fröhlich; Professor Dr. Thomas Kissinger; Professor Dr. Andreas Tünnermann; Professor Dr. Uwe Zeitner
• Subject Area: Automation, Mechatronics, Control Systems, Intelligent Technical Systems, Robotics
• Term: since 2026
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 556122658

No abstract available

• DFG Programme: New Instrumentation for Research
• Major Instrumentation: AFM-System ; Datenerfassungs- und Regelsystem ; Interferenzoptische Messsysteme ; Messkammer ; Präzisionsantriebssysteme ; Referenzspiegel ; Schwingungsisolation ; Tastsystem Weißlichtinterferometer
• Instrumentation Group: 5091 Rasterkraft-Mikroskope ; 5300 Interferometer, Vielstrahl-Interferometer, Etalons ; 5310 Interferenzapparaturen, Zweistrahl-Interferometer ; 5920 Spiegel, Spiegel-Optik ; 6930 Elektrische Steuergeräte und Anlagen ; 8300 Labor-Vakuumeinrichtung ; 9450 Labortische und -aufbauten