Entwicklung und Realisierung einer 3D-Nanolithographie- und Nanomessmaschine zur Messung und Strukturierung fortgeschrittenster optischer Elemente in einem Bereich von 1000 mm x 1000 mm x 200 mm mit Subnanometerpräzision

• Antragsteller: Professor Dr.-Ing. Thomas Fröhlich; Professor Dr. Thomas Kissinger; Professor Dr. Andreas Tünnermann; Professor Dr. Uwe Zeitner
• Fachliche Zuordnung: Automatisierungstechnik, Mechatronik, Regelungssysteme, Intelligente Technische Systeme, Robotik
• Förderung: Förderung seit 2026
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 556122658

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• DFG-Verfahren: Neue Geräte für die Forschung
• Großgeräte: AFM-System ; Datenerfassungs- und Regelsystem ; Interferenzoptische Messsysteme ; Messkammer ; Präzisionsantriebssysteme ; Referenzspiegel ; Schwingungsisolation ; Tastsystem Weißlichtinterferometer
• Gerätegruppe: 5091 Rasterkraft-Mikroskope ; 5300 Interferometer, Vielstrahl-Interferometer, Etalons ; 5310 Interferenzapparaturen, Zweistrahl-Interferometer ; 5920 Spiegel, Spiegel-Optik ; 6930 Elektrische Steuergeräte und Anlagen ; 8300 Labor-Vakuumeinrichtung ; 9450 Labortische und -aufbauten