Eine Flüssigmetall-Lichtbogen-Plasmaquelle für die Hochratenabscheidung von Halbleiterschichten mit großem Bandabstand

• Antragsteller: Professor Dr. André Anders; Dmitry Kalanov, Ph.D.
• Fachliche Zuordnung: Herstellung und Eigenschaften von Funktionsmaterialien
• Förderung: Förderung seit 2025
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 562781822

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Neue Geräte für die Forschung