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Grundlegende Wachstumsmechanismen für gedruckte Halbleiter verstehen: Von der Oberflächenwissenschaft zu In-situ-Studien in flüssigen Umgebungen (C05)

Fachliche Zuordnung Physikalische Chemie von Festkörpern und Oberflächen, Materialcharakterisierung
Förderung Förderung seit 2025
Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 538767711
 
Projekt C5 (Libuda) ermittelt die grundlegenden Reaktionsmechanismen, identifiziert Zwischenprodukte von Oberflächenreaktionen und quantifiziert die Kinetik einzelner Reaktionsschritte mithilfe von in-situ-Infrarotspektroskopie und anderen in-situ-Methoden. Die in C1, C2, C3, C4 aus der Gas- oder Lösungsphase entworfenen und durchgeführten Reaktionen werden unter verschiedenen Bedingungen untersucht, angefangen von ultrareinen Modelloberflächen bis hin zu realen Grenzflächen (fest/gasförmig und fest/flüssig), um die Adsorption und Reaktion molekularer Vorläufer während der Keimbildung und des Wachstums zu beobachten und zu quantifizieren, ergänzt durch andere Methoden der Oberflächencharakterisierung in C6, S1, S3, S5. Die Ergebnisse werden in Zusammenarbeit mit S2, S4, M1, M2, M3, M4 Aufschluss über die Umwandlung spezifischer Oberflächenchemie-Merkmale in Defekte innerhalb der festen Ablagerung geben.
DFG-Verfahren Sonderforschungsbereiche
Teilprojektleiter Professor Dr. Jörg Libuda, seit 7/2025
 
 

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