Festkörper-NMR-Spektroskopie zur Bildung und Strukturkontrolle dünner Halbleiterschichten (C06)

• Fachliche Zuordnung: Theoretische Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung seit 2025
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 538767711

Projekt C6 (Wisser) wendet Festkörper-Kernspinresonanz an, um physisorbierte und chemisorbierte Reaktionszwischenprodukte in den Keimbildungs- und Wachstumsphasen der Ablagerung zu identifizieren und zu quantifizieren und die Bildung einer neuartigen festen Phase zu charakterisieren. Das Vorhaben umfasst die Entwicklung von Methoden zur Verstärkung des Signals spezifischer Heterokerne, die für die Oberflächenfunktionalisierungsschemata und die in C1, C2, C3, F2, F3, F4 entwickelten Reaktionen relevant sind. Die Ergebnisse werden mit komplementären Analysetechniken in C5, S3, S4 verglichen. Projekt C6 wird einen einzigartigen kombinierten chemischen und strukturellen Einblick in die Chemie der Feststoffabscheidung liefern, der in Zusammenarbeit mit M1, M3, M4 interpretiert werden soll.

• DFG-Verfahren: Sonderforschungsbereiche
• Teilprojekt zu: SFB 1719: ChemPrint -- Gedruckte Halbleiter der nächsten Generation: Ingenieurskunst auf atomarer Ebene mittels molekularer Oberflächenchemie
• Antragstellende Institution: Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg
• Teilprojektleiterin: Dr. Dorothea Wisser, seit 7/2025