Kontrolliertes Wachstum von Großflächigen 2D Heterostrukturen mittels Chemischen Gasphasenabscheidungsrouten (A12#)

• Fachliche Zuordnung: Statistische Physik, Nichtlineare Dynamik, Komplexe Systeme, Weiche und fluide Materie, Biologische Physik
• Förderung: Förderung seit 2025
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 417590517

Trotz der jüngsten Fortschritte bei der Synthese verschiedener 2D-Materialien (2DM) besteht eine der größten verbleibenden Herausforderungen darin, gleichmäßige, ein- oder hochkristalline 2DM-Schichten im Wafer-Maßstab für künftige technologische Anwendungen herzustellen. Das Projekt befasst sich mit diesen Herausforderungen und konzentriert sich auf das kontrollierte Wachstum von kristallinen 2DMs und deren Heterostrukturen (HSs) unter Verwendung der metallorganischen chemischen Gasphasenabscheidung (MOCVD) und der Atomlagenabscheidung (ALD) als skalierbare und nachhaltige Herstellungsmethoden. Zu diesem Ziel wird der Einfluss von metallorganischen Präkursoren und Co-Reaktanten auf Keimbildung, Wachstum und Kristallinität der Schichten unter Verwendung verschiedener Präkursor-Kombinationen systematisch untersucht. Durch die Herstellung kontrollierter 2DM-Schichten und HS wird eine robuste Plattform für die Untersuchung der einzigartigen physikalischen Eigenschaften und der Struktur-Eigenschafts-Beziehungen realisiert.

• DFG-Verfahren: Sonderforschungsbereiche
• Teilprojekt zu: SFB 1415: Chemie der synthetischen zweidimensionalen Materialien
• Antragstellende Institution: Technische Universität Dresden
• Teilprojektleiterin: Professorin Dr. Anjana Devi