Laser Ablation System (LAS)

• Fachliche Zuordnung: Elektrotechnik und Informationstechnik
• Förderung: Förderung in 2026
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 568740526

Das Femtosekunden-Laserabtrags-Mikrobearbeitungssystem (LAS) wird in der Forschung für die Mikrofabrikation flexibler Strukturen eingesetzt. Es ermöglicht die Bearbeitung von Materialien, wie z. B. organischen Polymeren, die mit herkömmlichen lithografischen Methoden nicht bearbeitet werden können. Das System ermöglicht den selektiven Abtrag von Materialien wie dünne Metallschichten, leitfähige Polymere und Kohlenstoff-Nanoröhrenschichten. Dank der hochpräzisen Scan-Optik können mikroskopische Strukturen auf großen Substraten schnell bearbeitet werden. Das System kann komplexe Lithografie- und Ätzverfahren mit gefährlichen Chemikalien teilweise ersetzen. Typische Anwendungen sind die Verarbeitung biokompatibler Materialien für die Bioelektronik, die Herstellung flexibler und dehnbarer Elektronik, die Herstellung von 3D-Strukturen sowie das Schneiden, Bohren und selektive Abtragen von Materialien. Eingebettet ist das Gerät in das Zentrale Elektronik- und Informationstechnologielabor (ZEITlab) der Technischen Universität München (TUM). Das ZEITlab ist eine Organisationseinheit der School of Computation, Information and Technology (SoCIT). Seit dem Jahr 2022 ist es im neuen Gebäude der Elektro- und Informationstechnik der TUM auf dem Campus Garching untergebracht. Das Zentrum besteht aus einem Reinraum mit einer Fläche von 950 m² und zugehörigen Charakterisierungslaboren. Seine Vision ist die Etablierung eines "Makerspace für Mikroelektronik-Prototypen“, der als breit aufgestelltes Technologiezentrum der SoCIT eine Vielzahl von Forschungsbereichen unterstützt. Im ZEITlab werden Proof-of-Concept-Demonstratoren im Bereich Elektronik und Sensorik auf der Basis moderner Materialien und Komponenten realisiert und für verschiedene Anwendungsfelder bereitgestellt. Diese Art des „Rapid Prototyping“ nutzt innovative Verarbeitungs- und Charakterisierungstechnologien und wird systematisch durch Schaltungsdesign und Modellierung ergänzt. Das ZEITlab stellt einer Vielzahl von Forschungsgruppen, die sich mit Themen wie Quanten- und Sensortechnologien, Mikro-, Opto- und Neuroelektronik sowie hybriden Nanosystemen beschäftigen, einen zentralen und gemeinsamen Zugang zur Mikro- und Nanofabrikation zur Verfügung. Die gebündelte Infrastruktur ermöglicht demzufolge einen effizienten Transfer von Technologien aus der Grundlagenforschung zu ingenieurtechnischen Fragestellungen und Anwendungen.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Laser Ablation System
• Antragstellende Institution: Technische Universität München (TUM)
• Leiter: Professor Dr.-Ing. Markus Becherer