Detailseite
Projekt
Plasma und thermische Atomlagenabscheidung
Fachliche Zuordnung
Optik, Quantenoptik und Physik der Atome, Moleküle und Plasmen
Förderung
Förderung seit 2026
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 571241482
Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren
Forschungsgroßgeräte
Großgeräte
Plasma und thermische Atomlagenabscheidung
Gerätegruppe
8330 Vakuumbedampfungsanlagen und -präparieranlagen für Elektronenmikroskopie
Antragstellende Institution
Ruprecht-Karls-Universität Heidelberg
