Plasma and thermal atomic layer deposition

• Subject Area: Optics, Quantum Optics and Physics of Atoms, Molecules and Plasmas
• Term: since 2026
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 571241482

No abstract available

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Major Instrumentation: Plasma und thermische Atomlagenabscheidung
• Instrumentation Group: 8330 Vakuumbedampfungsanlagen und -präparieranlagen für Elektronenmikroskopie
• Applicant Institution: Ruprecht-Karls-Universität Heidelberg
• Leader: Professor Dr. Wolfram Hans Peter Pernice