Inductively coupled plasma-enhanced chemical vapor deposition

• Subject Area: Optics, Quantum Optics and Physics of Atoms, Molecules and Plasmas
• Term: since 2026
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 574723012

No abstract available

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Major Instrumentation: Induktiv gekoppelte plasma-unterstützte chemische Gasphasenabscheidung
• Instrumentation Group: 0920 Atom- und Molekularstrahl-Apparaturen
• Applicant Institution: Ruprecht-Karls-Universität Heidelberg
• Leader: Professor Dr. Wolfram Hans Peter Pernice