Physikalische Gasphasenabscheidung/Sputtern

• Fachliche Zuordnung: Werkstofftechnik
• Förderung: Förderung seit 2026
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 576387316

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Physikalische Gasphasenabscheidung/Sputtern
• Gerätegruppe: 8330 Vakuumbedampfungsanlagen und -präparieranlagen für Elektronenmikroskopie
• Antragstellende Institution: Hochschule Kaiserslautern
• Leiterin: Professorin Dr. Monika Saumer