Physical vapor deposition/sputtering

• Subject Area: Materials Engineering
• Term: since 2026
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 576387316

No abstract available

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Major Instrumentation: Physikalische Gasphasenabscheidung/Sputtern
• Instrumentation Group: 8330 Vakuumbedampfungsanlagen und -präparieranlagen für Elektronenmikroskopie
• Applicant Institution: Hochschule Kaiserslautern
• Leader: Professorin Dr. Monika Saumer