Elektronenstrahlverstärkte Oberflächenreaktionen (ebeast) - Entschlüsselung der elektroneninduzierten Dissoziation und der Molekül-Oberflächenkinetik

• Antragstellerin: Dr. Katja Höflich
• Fachliche Zuordnung: Festkörper- und Oberflächenchemie, Materialsynthese ; Herstellung und Eigenschaften von Funktionsmaterialien
• Förderung: Förderung seit 2026
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 579668301

Ebeast zielt darauf ab, das volle Potenzial freier Elektronen als stark reduzierendes chemisches Mittel in Oberflächenreaktionen mit metallorganischen Molekülen zu nutzen. Ebeast strebt ein qualitatives und quantitatives Verständnis der grundlegenden elektroneninduzierten Oberflächenreaktionen an, indem es die elektroneninduzierte Dissoziation und Desorption von den Mechanismen der Oberflächenkinetik trennt. Ebeast nutzt Techniken zur in-situ Überwachung der Prozesseffizienz und der desorbierten Reaktionsprodukte während elektroneninduzierten Oberflächenreaktionen und nutzt dafür Setups für die elektronenverstärkte Atomlagenabscheidung (e-ALD) und die chemische Gasphasenabscheidung (e-CVD) sowie modernste fokussierte elektronenstrahlinduzierte Abscheidung (FEBID) in Kombination mit Kontinuumsmodellierung. Dieser Ansatz liefert sowohl grundlegende mechanistische Erkenntnisse als auch technologische Relevanz für die Synthese fortschrittlicher Dünnschichtmaterialien und den 3D-Nanodruck.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen
• Internationaler Bezug: Schweiz
• Kooperationspartner: Dr. Ivo Utke