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Projekt
Integriertes System für energiedispersive Röntgenspektroskopie und Elektronenrückstreubeugung
Fachliche Zuordnung
Materialwissenschaft
Förderung
Förderung seit 2026
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 583275000
Das Vorhaben zielt auf die Integration eines kombinierten energiedispersiven Röntgenspektroskopie- (EDS) und Elektronenrückstreubeugungssystems (EBSD) in eine vorhandene Plasmaionenfeinstrahlanlage (PFIB) an der TU Darmstadt. Das System ermöglicht Elementanalysen einschließlich leichter Elemente in Dünnschichten und kristallographische Orientierungs- und Phasenkartierung unmittelbar während der Probenpräparation. Die direkte Integration erlaubt synchrone 2D/3D-Datenerfassung (Slice-and-View) zur voxelgenauen Rekonstruktion von Mikrostruktur und Chemie. Die Erweiterung adressiert laufende Vorhaben (ERC-Projekte, CRC/TRR) mit einer geplanten Gesamtgerätezeit von 770 h/Jahr.
DFG-Verfahren
Forschungsgroßgeräte
Großgeräte
Integriertes System für energiedispersive Röntgenspektroskopie und Elektronenrückstreubeugung
Gerätegruppe
5160 Elektronenbeugungs-Apparaturen, LEED-, RHEED-, SHEED-Apparaturen
Antragstellende Institution
Technische Universität Darmstadt
