Integrated energy-dispersive X-ray spectroscopy and electron backscatter diffraction system

• Subject Area: Materials Science
• Term: since 2026
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 583275000

Das Vorhaben zielt auf die Integration eines kombinierten energiedispersiven Röntgenspektroskopie- (EDS) und Elektronenrückstreubeugungssystems (EBSD) in eine vorhandene Plasmaionenfeinstrahlanlage (PFIB) an der TU Darmstadt. Das System ermöglicht Elementanalysen einschließlich leichter Elemente in Dünnschichten und kristallographische Orientierungs- und Phasenkartierung unmittelbar während der Probenpräparation. Die direkte Integration erlaubt synchrone 2D/3D-Datenerfassung (Slice-and-View) zur voxelgenauen Rekonstruktion von Mikrostruktur und Chemie. Die Erweiterung adressiert laufende Vorhaben (ERC-Projekte, CRC/TRR) mit einer geplanten Gesamtgerätezeit von 770 h/Jahr.

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Major Instrumentation: Integriertes System für energiedispersive Röntgenspektroskopie und Elektronenrückstreubeugung
• Instrumentation Group: 5160 Elektronenbeugungs-Apparaturen, LEED-, RHEED-, SHEED-Apparaturen
• Applicant Institution: Technische Universität Darmstadt
• Leader: Professor Leopoldo Molina-Luna