Erneuerung eines Feldemissions-Rasterelektronenmikroskops (Erneuerung)

• Fachliche Zuordnung: Werkstofftechnik
• Förderung: Förderung seit 2026
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 584876585

Der vorliegende Antrag sieht die umfassende technische Ertüchtigung und funktionale Erweiterung eines vorhandenen Feldemissions-Rasterelektronenmikroskops (FE-REM) vor. Dieses FE-REM erlaubt auch unter aktuellen Gesichtspunkten eine sehr hohe Auflösung ganz besonders bei niedrigsten Beschleunigungsspannungen, seine Elektronik ist jedoch veraltet und Ersatzteile werden seit einigen Jahren nicht mehr zur Verfügung gestellt. Mit der Ertüchtigung des Gerätes wird eine erweiterte Nutzungsdauer von mindestens weiteren zehn Jahren erwartet. Eine Neuanschaffung würde den vierfachen Kostenrahmen erfordern und kann bei Bewilligung des Antrags vermieden werden. Die Funktionalität des FE-REM erlaubt die zerstörungsarme Untersuchung von biologischem und organischem Material sowie dünnsten Schichten. Sie ist für die wissenschaftliche Forschungsarbeit der beantragenden Arbeitsgruppen unentbehrlich. Die Einsatzgebiete des Gerätes reichen von der Scaffoldentwicklung zur Knochenremodellierung, über die Oberflächenfunktionalisierung und Oberflächenstrukturierung von Oberflächen zur Erforschung von scalenübergreifenden Metamaterialien. Die elektronenoptische Säule des FE-REM soll erhalten bleiben, aber seine Ansteuerelektronik, die Bedienkonsole und die Soft- und Hardware zur Bildaufnahme und Datenübertragung sollen vollständig ersetzt werden. Das Gerät soll mit einem 4-Quadranten-Rückstreuelektronen-Detektor mit 3d-Funktionalität für Oberflächentopographie-Untersuchungen versehen werden, der darüber hinaus eine Rauheitsmessung ermöglicht.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Erneuerung eines Feldemissions-Rasterelektronenmikroskops
• Gerätegruppe: 5120 Rasterelektronenmikroskope (REM)
• Antragstellende Institution: Technische Universität Dresden
• Leiterin: Dr.-Ing. Ute Bergmann