Messgerät zur 3D-Bewegungsanalyse von Mikrostrukturen
Zusammenfassung der Projektergebnisse
Die Anlage besteht aus einer Vakuumwaferprober und einem Messmikroskop mit Topographie- und Funktionsmesstechnik für mikroelektromechanische Systeme (MEMS). Nach der Inbetriebnahme wurde die Anlage hinsichtlich der Druckregelung noch durch einen Schieber und ein Bypassventil erweitert, um die manuelle Druckregelung leichter nutzbar zu machen. Die Anlage wird für die Charakterisierung von Mikrosystemen auf Wafer-Level verwendet und findet daher Anwendung für die Modellverifikation in den Bereichen Modalanalyse und Dämpfungsberechnung. Weiterhin werden Forschungsarbeiten für MEMS-Sensoren auf Basis von Kohlenstoffnanoröhrchen mit Hilfe dieser Anlage bearbeitet, da der Betrieb von Kohlenstoffnanoröhrchen als Sensorelemente eine Vakuumumgebung erfordert.
Projektbezogene Publikationen (Auswahl)
- Wafer-level technology for piezoresistive electromechanical transducer based on Carbon Nanotubes. Smart Systems Integration, Amsterdam(NL), 2013 Mar 13-14 (ISBN978-3-8007-3081-0)
Sascha Hermann, Jens Bonitz, Christian Kaufmann, Stefan E. Schulz, Thomas Gessner’ Alexey Shaporin, Sebastian Voigt, Jan Mehner Steffen Hartmann, Bernhard Wunderle
- Dependency of sticking effects on environmental conditions at MEMS devices. 10. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik, Chemnitz (Germany), 2010 Oct 20-21 (ISBN 978-3-00-032052-1)
Naumann, M.; Mehner, J.; Lin, D.; Miller, T.
- Design and Application of Flexible Stops for MEMS Devices. IEEE SENSORS 2010 Conference , Hawaii (USA), Proceedings, (2010) (ISBN 978-1-4244-8168-2)
Naumann, M.; Mehner, J.; Lin, D.; Miller, T.
- Gütebestimmung von MEMS-Strukturen im Zeitbereich mittels Laser Doppler Vibrometer und einem Logarithmierer. 10. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik -Mikromechanik & Mikroelektronik, Chemnitz (Germany), 2010 Oct 20 - 21 (ISBN978-3-00-032052-1)
Voigt,S.; Tenholte,D.; Franke,D.; Reuter,D.; Hiller,K.; Gessner,T.; Mehner,J.
- Stressidentifikation dünner Membranstrukturen mittels dynamischer Messungen. 10. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik, Chemnitz (Germany), 2010 Oct 20-21 (ISBN 978-3-00-032052-1)
S. Michael, S. Voigt, R. Knechtel
- Bestimmung des Gutefaktors bei hochresonanten Mikrostrukturen mittels eines logarithmischen Verstarkers. Mikrosystemtechnik Kongress 2011, Darmstadt (Germany), 2011 Oct 10-12, Proceedings (ISBN 9783-8007-3367-5)
Voigt, S.; Franke, D.; Tenholte, D.; Gessner, T.; Mehner, J.
- Field emitting carbon nanotubes in MEMS-structures for movement sensors. 11. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik , Chemnitz (Germany), 2012 Oct 23-24(ISBN978-3-00-039162-0)
Loschek,S.; Hermann,S.; Haibo,Y.; Schulz,S.E.
- On the influence of vacuum on the design and characterization of MEMS. Vacuum, Special Issue: Sensors, Vol. 86, Issue 5, 2012 Jan 5, pp. 536-546
Dienel, M.; Naumann, M.; Sorger, A.; Tenholte, D.; Voigt, S.; Mehner, J.
- Processes for wafer level integration of carbon nanotubes in electronic and sensor applications. 11. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Chemnitz, 2012 Oct 23-24; Proceedings (ISBN9783000391620)
Hermann,S.; Fiedler,H.; Loschek,S.; Schulz,S.E.; Gessner,T.
- Wafer-level technology for piezoresistive electro-mechanical transducer based on Carbon Nanotubes. Herrenhausen Conference „ Downscaling Science" , Hanover (Germany), 2012 Dec 12-14
Hermann,S.; BonitzJ.; Kaufmann,C.; Schulz,S.E.; Gessner,T.; Shaporin,A.; Voigt,S.; Mehner,J.; Hartmann,S.; Wunderle,B.
