Magnetron Sputteranlage

• Fachliche Zuordnung: Optik, Quantenoptik und Physik der Atome, Moleküle und Plasmen
• Förderung: Förderung in 2008
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 76817620

Die über zwanzig Jahre alte und seit Sommer dieses Jahres irreparabel defekte SputteranlageLeybold Z400 soll schnellstmöglich durch die beantrage Anlage ersetzt werden. Das Gerät istwesentlicher Bestandteil von mehreren bereits bewilligten Forschungsprojekten (siehe 2a undb). Weiteres wird durch den neu eingerichteten Sonderforschungsbereich die Stoßrichtung der beiden Fachbereiche Physik und Chemie und damit der Naturwissenschaften der Universität Konstanzin Richtung Nanotechnologie deutlich.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Gerätegruppe: 8330 Vakuumbedampfungsanlagen und -präparieranlagen für Elektronenmikroskopie
• Antragstellende Institution: Universität Konstanz
• Leiter: Professor Dr. Alfred Leitenstorfer