Metrologische Verifikation (T01)

• Subject Area: Measurement Systems
• Term: from 2008 to 2010
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5485337

Das Transferteilprojekt T01 (Metrologische Verifikation) erarbeitet ausgehend von innovativen metrologischen Konzepten aus der Grundlagenforschung des Sonderforschungsbereichs 622 die metrologischen Vorgaben für die Gesamtstruktur einer NPM-Maschine mit einem Arbeitsbereich von 200 x 200 x 25 mm3 bei einer Positionsauflösung von 0,1 nm und erzielbaren 3-D-Messunsicherheit von < 30 nm. Die Aufgabe des Teilprojektes T01 besteht darin, während des gesamten Transferprozesses, vom Entwurf über die Konstruktion, die Realisierung von Teilsystemen bis hin zum Gesamtaufbau und der Steuerungs- und Signalverarbeitungssoftware die notwendigen Vorgaben, Maßnahmen und Kontrollen zu erarbeiten und durchzuführen, um die metrologische Spezifikation der Maschine zu sichern.

• DFG Programme: Collaborative Research Centres (Transfer Project)
• Subproject of: SFB 622: Nanopositioning- and Nanomeasuring Machines
• Applicant Institution: Technische Universität Ilmenau
• Business and Industry: Carl Zeiss Microscopy GmbH; Vistec Semiconductor Systems GmbH
• Project Heads: Professor Dr.-Ing. Roland Füßl; Professor Dr. Rainer Grünwald (†)