Metrologische Verifikation (T01)

• Fachliche Zuordnung: Messsysteme
• Förderung: Förderung von 2008 bis 2010
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5485337

Das Transferteilprojekt T01 (Metrologische Verifikation) erarbeitet ausgehend von innovativen metrologischen Konzepten aus der Grundlagenforschung des Sonderforschungsbereichs 622 die metrologischen Vorgaben für die Gesamtstruktur einer NPM-Maschine mit einem Arbeitsbereich von 200 x 200 x 25 mm3 bei einer Positionsauflösung von 0,1 nm und erzielbaren 3-D-Messunsicherheit von < 30 nm. Die Aufgabe des Teilprojektes T01 besteht darin, während des gesamten Transferprozesses, vom Entwurf über die Konstruktion, die Realisierung von Teilsystemen bis hin zum Gesamtaufbau und der Steuerungs- und Signalverarbeitungssoftware die notwendigen Vorgaben, Maßnahmen und Kontrollen zu erarbeiten und durchzuführen, um die metrologische Spezifikation der Maschine zu sichern.

• DFG-Verfahren: Sonderforschungsbereiche (Transferprojekt)
• Teilprojekt zu: SFB 622: Nanopositionier- und Nanomessmaschinen
• Antragstellende Institution: Technische Universität Ilmenau
• Unternehmen: Carl Zeiss Microscopy GmbH; Vistec Semiconductor Systems GmbH
• Teilprojektleiter: Professor Dr.-Ing. Roland Füßl; Professor Dr. Rainer Grünwald (†)