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Institution

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Technische Universität Ilmenau
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Institut für Mikro- und Nanoelektronik

Adresse Postfach 10 05 65
98684 Ilmenau
Deutschland

GERiT Diese Institution in GERiT

98684 Ilmenau

Projekte

Forschungsgruppen
- abgeschlossene Projekte
  - FOR 1522: Multiphysikalische Synthese und Integration komplexer Hochfrequenz-Schaltungen - MUSIK
    (Sprecher Hein, Matthias )
  - SiCer-Technologie für HF-MEMS
    (Antragsteller Müller, Jens )
Forschungsgroßgeräte
- abgeschlossene Projekte
  - 3D-Pikosekunden-Laserablationsanlage
Sachbeihilfen
- laufende Projekte
  - Reaktives Mikrofügen und Packaging - mechanische, thermische und elektrische Funktionalitäten
    (Antragsteller Müller, Jens ; Wiese, Steffen )
Gerätezentren
- abgeschlossene Projekte
  - Gerätezentrum Mikro-Nano-Integration
    (Antragsteller Hoffmann, Martin ; Müller, Jens ; Schaaf, Peter )
  - Gerätezentrum Mikro-Nano-Integration - Fortsetzungsantrag
    (Antragsteller Hoffmann, Martin ; Müller, Jens ; Schaaf, Peter )
Sonderforschungsbereiche
- laufende Projekte
  - ΔE-Effekt-Sensoren
    (Teilprojektleiter Faupel, Franz ; Rieger, Robert ; Spetzler, Benjamin )

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