Gerätezentrum Mikro-Nano-Integration

• Antragsteller: Professor Dr.-Ing. Martin Hoffmann; Professor Dr.-Ing. Jens Müller; Professor Dr. Peter Schaaf
• Fachliche Zuordnung: Mikrosysteme
• Förderung: Förderung von 2013 bis 2018
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 233759584

Das Ziel des Projektes ist die Etablierung eines Gerätezentrums für Mikro-Nano-Integration. Dies soll es Nutzern erlauben, einerseits (fremde) Nanostrukturen mit neuen Funktionalitäten in ihre Systeme und Geräte zu integrieren, oder anderseits ihre neuen Nanostrukturen in bereits existierende Mikro-systeme zu integrieren. Durch geeignete Strukturen und optimierte Organisation der verfügbaren Technologien wird die Nutzung durch einen erweiterten Nutzerkreis an der TU Ilmenau und die externe Nutzung forciert, die gebündelte interdisziplinäre Kompetenz optimal genutzt und die Professionalität des Betriebes und der Forschung befördert. Der Schwerpunkt liegt in der Entwicklung eines pro-fessionellen, wissenschaftsadäquaten Managements des Gerätezentrums. Es sollen Prozess- und Technologieketten anstelle einzelner Prozesse verfügbar gemacht werden und damit eine bessere Auslastung der Geräteinfrastruktur erreicht werden. Dazu erfolgt die Schaffung einer transparenten Antrags-, Entscheidungs- und Abrechnungsstruktur, um weiteren Nutzern einen Zugang zu ermögli-chen, welcher neben Aspekten der Reproduzierbarkeit entlang definierter Prozesslinien auch förder-richtlinienkonforme Kostenverrechnung und die nötige Vertraulichkeit sicherstellt.

• DFG-Verfahren: Gerätezentren