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Institution

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Technische Universität Chemnitz
Institut für Mikrosystem- und Halbleitertechnik

Adresse Reichenhainer Straße 70
09126 Chemnitz
Deutschland

GERiT Diese Institution in GERiT

09126 Chemnitz

Projekte

Sonderforschungsbereiche
- abgeschlossene Projekte
  - Applikative Systemlösungen
    (Teilprojektleiter Bocklisch, Steffen F. ; Ebest, Gunter ; Geßner, Thomas ; Radehaus, Christian )
  - Scannerkomponenten mit breitbandigen dielektrischen Reflexionsschichten
    (Teilprojektleiter Radehaus, Christian ; Richter, Frank )

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