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Institution
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB)
Address
Schottkystraße 10
91058 Erlangen
Deutschland
GERiT
This institution in GERiT
91058 Erlangen
Projects
Research Grants
Completed projects
Investigation of activation and diffusion properties of boron in polycrystalline SiGe-gate electrodes for MOS-devices
(Applicant
Ryssel, Heiner
)
Piezospectroscopy and ab-initio calculations of carbon-oxygen complexes in gallium arsenide
(Applicants
Alt, Hans Christian
;
Kersch, Alfred
)
Untersuchung des Aktivierungs- und Diffusionsverhaltens von Bor in polykristallinen SiGe-Gate-Elektroden für MOS-Transistoren
(Applicant
Eisele, Ignaz
)
Priority Programmes
Completed projects
CVD-Prozesse mit neuartigen metallorganischen Precursoren zur Herstellung von hoch-Epsilon Gatedielektrika und metallischen Gatelektroden zukünftiger CMOS-Generation
(Applicant
Ryssel, Heiner
)
CVD-Prozesse mit neuartigen metallorganischen Precursoren zur Herstellung von hoch-Epsilon Gatedielektrika und metallischen Gatelektroden zukünftiger CMOS-Generation
(Applicant
Herrmann, Wolfgang A.
)
Precursorchemie von HfN, TaN, WNx und ähnlichen Metallnitriden in MOCVD und ALD-Prozessen für Gate-Metallisierungs- und Diffusions-Grenzschichten für CMOS-Bauteile
(Applicant
Fischer, Roland A.
)
Collaborative Research Centres
Completed projects
Motorintegrierte Leistungselektronik: Strukturflexibel mechatronisch integrierbare passive elektronische Bauelemente
(Project Heads
März, Martin
;
Ryssel, Heiner
)
SFB 694: Integration of Electronic Components into Mobile Systems
(Spokesperson
Weckenmann, Albert
)
Clusters of Excellence
Completed projects
EXC 315: Engineering of Advanced Materials - Hierarchical Structure Formation for Functional Devices
(Spokesperson
Peukert, Wolfgang
)
Subinstitutions
Abteilung Bauelemente
Additional Information
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