Detailseite
Institution
KLA-Tencor Corporation
Adresse
One Technology Drive
Milpitas CA 95035
USA
Milpitas CA 95035
- Schwerpunktprogramme
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abgeschlossene Projekte
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Zeitaufgelöste Beobachtung und Modellierung der Entstehung laserinduzierter Nanostrukturen(Antragstellerinnen / Antragsteller Ivanov, Dmitry ; Juschkin, Larissa ; Poprawe, Reinhart ; Taubner, Thomas )
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abgeschlossene Projekte
- Sonderforschungsbereiche
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abgeschlossene Projekte
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Integration und Nanostrukturierung(Teilprojektleiterinnen / Teilprojektleiter Grützmacher, Detlev ; Juschkin, Larissa )
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abgeschlossene Projekte
