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Person
Professor Dr. Johann Peter Reithmaier
Adresse
Universität Kassel
Institut für Nanostrukturtechnologie und Analytik
34109 Kassel
- Als Antragsteller
- Als Leiter
- abgeschlossene Projekte
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Reaktive Ionenätzanlage mit induktiv gekoppelter Plasmaquelle (ICP-RIE etcher) (Forschungsgroßgeräte) -
Rasterkraftmikroskop (Forschungsgroßgeräte)
- Upgrade einer Elektronenstrahl-Lithographieanlage (Forschungsgroßgeräte)
- Doppelkammer-Molekularstrahl-Epitaxieanlage (Forschungsgroßgeräte)
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- abgeschlossene Projekte
- Als Beteiligte Person
