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Professor Dr. Joachim Knoch
Adresse
Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
Fakultät für Elektro- und Informationstechnik
Institut für Halbleitertechnik
Sommerfeldstraße 24
52074 Aachen
- Als Antragsteller
- Als Leiter
- abgeschlossene Projekte
- Reaktives Ionenätz-Gerät (Forschungsgroßgeräte)
- Direct Laser-Writer, maskless optical lithography system (Forschungsgroßgeräte)
- Rapid Thermal Processing (RTP) Gerät (Forschungsgroßgeräte)
- Elektronenstrahllithographie Gerät (Forschungsgroßgeräte)
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- abgeschlossene Projekte
- Als beteiligter Wissenschaftler
- laufende Projekte
- EXC 2004: Materie und Licht für Quanteninformation (ML4Q) (Exzellenzcluster (ExStra))
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- laufende Projekte
- Als Teilprojektleiter
- laufende Projekte
- BEOL-kompatible rekonfigurierbare 3D-Logik (Transregios)
- ECM-Bauteile als programmierbare 3D-Verbindungen (Transregios)
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- laufende Projekte
- Als Beteiligte Person