Kombiniertes Rasterelektronenmikroskop mit fokussiertem Ionenstrahl (REM/FIB Dualbeam)

• Fachliche Zuordnung: Optik, Quantenoptik und Physik der Atome, Moleküle und Plasmen
• Förderung: Förderung in 2009
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 154585072

„Für die Reinräume des Instituts für Technische Optik wird ein SEM/FIB-Dualbeam-Gerät beantragt.Es beinhaltet die Funktionen Rasterelektronenmikroskop (SEM) und fokussierter lonenstrahl (FIB)kombiniert in einem Gerät und liefert in beiden Betriebsmodi höchste Auflösungen. AlsNanobearbeitungs- und Analysezentrum soll es den beantragenden Instituten ermöglichen, Forschungim Bereich Nano- und Mikrosystemtechnik zu betreiben sowie produktionstechnische Aspekte und dieebenfalls hierfür notwendige Messtechnik abzudecken. Dabei ist ein wesentliches Ziel dieErschließung neuer, hochauflösender Skalenbereiche für die Mess- und Fertigungstechnik. DieAnalysemöglichkeiten, die eine FIB-Schnittfunktion bietet, die Möglichkeit nahezu beliebige Materialiennanoskalig zu strukturieren und die herausragende Auflösung der Elektronenoptik sind dabei diewesentlichen Merkmale eines solchen Kombigerätes. Das beantragte System wird in eine bestehendelaserlithografische Fertigungskette mit nanoskaligen Replikationsmöglichkeiten eingebettet sein.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Gerätegruppe: 5120 Rasterelektronenmikroskope (REM)
• Antragstellende Institution: Universität Stuttgart
• Leiter: Professor Dr. Wolfgang Osten