Zusammenführung von mikrosystemtechnischen Sensoren, Plasmadiagnostik und kombinatorischen Methoden zur Entwicklung erweiterter Strukturzonendiagramme (C02)

• Fachliche Zuordnung: Herstellung und Eigenschaften von Funktionsmaterialien
• Förderung: Förderung von 2010 bis 2022
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 138690629

Methoden der kombinatorischen Materialforschung werden genutzt, um erweiterte Strukturzonendiagramme für TM-Al-O-N (TM = Cr, V, Ti) Schichtsysteme zu entwickeln, die Korrelationen zwischen Plasma- und Schichteigenschaften zeigen. Die gezielte Beeinflussung von Plasmaeigenschaften durch Prozessparameter (Druck, Leistungsdichte, Frequenz, Target-Substrat-Distanz) führt zu unterschiedlichen Wachstumsmodi der aufwachsenden Materialschicht. Unterschiedliche Wachstumsbedingungen und deren Einfluss auf die Schichteigenschaften werden untersucht und in materialspezifischen, um Schichteigenschaften erweiterten, Strukturzonendiagrammen zusammengefasst.

• DFG-Verfahren: Transregios
• Teilprojekt zu: TRR 87: Gepulste Hochleistungsplasmen zur Synthese nanostrukturierter Funktionsschichten
• Antragstellende Institution: Ruhr-Universität Bochum
• Teilprojektleiter: Professor Dr.-Ing. Alfred Ludwig