Oberflächenprozesse bei der Wechselwirkung von Hochleistungsplasmen mit HPPMS-Targetoberflächen und Kunststoffen (C07)

• Fachliche Zuordnung: Polymermaterialien
• Förderung: Förderung von 2010 bis 2022
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 138690629

Mittels eines Teilchenstrahlexperimentes werden Oberflächenprozesse von energetischen Metallionen, wie sie für HPPMS Prozesse am Target als auch am Substrat wichtig sind, untersucht. Dies sind die Sekundärelektronenproduktion, das reaktive Zerstäuben auf dem Target sowie die Schichtbildung auf dem Substrat. Mit dem Teilchenstrahlexperiment wird zudem die Wechselwirkung von Ionen und UV Photonen mit Barrieren und Membranen auf Kunststoffen evaluiert. Der laterale Transport von Metallatomen auf HPPMS Targets wird mittels einer in-vacuo Kopplung einer XPS-Anlage und eines HPPMS-Plasmas untersucht.

• DFG-Verfahren: Transregios
• Teilprojekt zu: TRR 87: Gepulste Hochleistungsplasmen zur Synthese nanostrukturierter Funktionsschichten
• Großgeräte: Ionenstrahlquelle
• Gerätegruppe: 8380 Schichtdickenmeßgeräte, Verdampfungs- und Steuergeräte (für Vakuumbedampfung, außer 833)
• Antragstellende Institution: Ruhr-Universität Bochum
• Teilprojektleiterinnen / Teilprojektleiter: Privatdozentin Dr. Teresa de los Arcos, von 7/2014 bis 6/2018; Professor Dr. Achim von Keudell