Feldemissionsrasterelektronenmikroskop

• Fachliche Zuordnung: Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung in 2011
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 201135923

„Das hier beantragte Gerät soll in zwei Anwendungsbereichen eingesetzt werden. Einerseits soll es als hochauflösendes Elektronenmikroskop die Abbildung von Strukturen mit Abmessungen im Nano- und Mikrometerbereich ermöglichen. Neben dem Betrieb zu Abbildungs- bzw. Materialinspektionszwecken soll das Gerät durch eine Kombination mit einer vorhandenen Ansteuerelektronik für Elektronenstrahllithografie zur lateralen Strukturierung auf der Nanometerskala eingesetzt werden.“

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Gerätegruppe: 5120 Rasterelektronenmikroskope (REM)
• Antragstellende Institution: Universität Paderborn
• Leiter: Professor Dr. Cedrik Meier