3D Laserlithographiesystem

• Fachliche Zuordnung: Systemtechnik
• Förderung: Förderung in 2016
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 315933932

Das Institut für Mikrosensoren, -aktoren und -systeme (IMSAS) forscht auf dem Gebiet der Mikro- und Nanotechnologie, mit einem Fokus der Arbeitsgruppe Vellekoop auf mikrofluidische Systeme und Sensoren für biochemische und medizinische Untersuchungen und einem Fokus der Arbeitsgruppe Lang auf integrierte und flexible Sensoren. Klassische Reinraumprozesse zur Fertigung mikrofluidischer und integrierte Systeme werden verstärkt komplementiert und ersetzt durch neuartige, preiswertere und universellere Verfahren. So erlauben 3D-Drucker das direkte Schreiben von nahezu beliebigen Strukturen und Systemen in einem Prozessschritt, welche in klassischer lithographiebasierter Reinraumtechnologie nicht effizient realisiert werden können. Das Verfahren der Zwei-Photonen-Polymerisation ermöglicht das direkte Schreiben von Strukturen mit Auflösungen bis zu wenigen hundert Nanometern. Hierbei erreicht die neuste Generation dieser Geräte erstmals Schreibgeschwindigkeiten, die die Bearbeitung einer gesamten Waferfläche in realistischer Prozesszeit gestatten. Dadurch wird die Integration neuartiger funktionaler Mikro- und Nanostrukturen in Sensoren und mikrofluidische Systeme möglich. Diese Funktionalität bietet eine nahezu einzigartige Möglichkeit neue Bauelemente und Systeme in der Mikrofluidik und Mikrosensorik herzustellen und zu erforschen.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: 3D Laserlithographiesystem
• Gerätegruppe: 0910 Geräte für Ionenimplantation und Halbleiterdotierung
• Antragstellende Institution: Universität Bremen
• Leiter: Professor Dr.-Ing. Michael Vellekoop