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Person
Professor Dr.-Ing. Michael Vellekoop
Adresse
Universität Bremen
Fachbereich 01: Physik und Elektrotechnik
Institut für Mikrosensoren, -aktoren und -systeme (IMSAS)
Otto-Hahn-Allee 1
28359 Bremen
- Als Antragsteller
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Als Leiter
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abgeschlossene Projekte
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3D Laserlithographiesystem (Forschungsgroßgeräte)
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PVD-Sputteranlage (Forschungsgroßgeräte)
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abgeschlossene Projekte
