PVD-Sputteranlage

• Fachliche Zuordnung: Elektrotechnik und Informationstechnik
• Förderung: Förderung in 2017
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 389141297

Das Institut für Mikrosensoren, -aktoren und -systeme (IMSAS) forscht auf dem Gebiet der Mikro- und Nanotechnologie, mit einem Fokus der Arbeitsgruppe Vellekoop auf mikrofluidische Systeme und Sensoren für biochemische und medizinische Untersuchungen und einem Fokus der Arbeitsgruppe Lang auf integrierte und flexible Sensoren. Für die Herstellung dieser Mikrosysteme verwenden wir die Prozesse der planaren Mikrofabrikation. Dazu gehören verschiedene Beschichtungsverfahren, bei der die Sputterbeschichtung eine wesentliche Rolle spielt. Zum Erhalt unserer Sputtertechnologie für wissenschaftliche Zwecke ist es notwendig in eine neue Anlage zu investieren, da die derzeit genutzten Geräte in die Jahre gekommen sind und Ersatzteile schwer und teilweise nur noch gebraucht erhältlich sind. Neue technologische Entwicklungen wie z. B. spezielle Pulsverfahren erweitern außerdem unsere Möglichkeiten temperaturempfindliche Substratmaterialien zu verwenden, wie Polyimidfolien und 3D gedruckte Kunststoffmaterialien, und liefern gleichzeitig qualitativ stabilere und dichtere Schichten.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: PVD-Sputteranlage
• Gerätegruppe: 8330 Vakuumbedampfungsanlagen und -präparieranlagen für Elektronenmikroskopie
• Antragstellende Institution: Universität Bremen
• Leiter: Professor Dr.-Ing. Michael Vellekoop