Herstellung magnetoelektrischer MEMS Sensoren (Z01)

• Fachliche Zuordnung: Herstellung und Eigenschaften von Funktionsmaterialien
• Förderung: Förderung seit 2016
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 286471992

Das Serviceprojekt Z1 konzentriert sich auf die MEMS-Fertigung von magnetoelektrischen Sensoren, um voll- und teilprozessierte Sensoren für das wissenschaftliche Programm des SFBs bereitzustellen. Um dieses Ziel zu erreichen betreibt Z1 eine institutsübergreifende Technologieplattform, bestehend aus einzelnen Prozessmodulen und vollständigen Fertigungsprozessabläufen. Mittels Prozessintegration als eine der Hauptaufgaben wird diese Technologieplattform kontinuierlich an die neusten Konzepte und Erkenntnisse des SFBs angepasst.

• DFG-Verfahren: Sonderforschungsbereiche
• Teilprojekt zu: SFB 1261: Magnetoelektrische Sensoren: von Kompositmaterialien zu biomagnetischer Diagnose
• Antragstellende Institution: Christian-Albrechts-Universität zu Kiel
• Mitantragstellende Institution: Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie (ISIT)
• Teilprojektleiter: Dr. Fabian Lofink, von 3/2023 bis 6/2024; Dr. Dirk Meyners; Dr.-Ing. Florian Niekiel, von 7/2020 bis 2/2023