Herstellung magnetoelektrischer MEMS Sensoren (Z01)

• Fachliche Zuordnung: Herstellung und Eigenschaften von Funktionsmaterialien
• Förderung: Förderung seit 2016
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 286471992

Das Serviceprojekt beinhaltet die Mikrofertigung von magnetoelektrischen Sensoren und teilprozessierten Substraten zur Realisierung des wissenschaftlichen Arbeitsprogramms des SFB. Es ist eine zentrale Schnittstelle zwischen den Sensor- und Anwendungsprojekten der Forschungsbereiche A und B und entlastet die einzelnen wissenschaftlichen Projekte in den Bereichen Fertigung und Qualität. Um dieses Ziel zu erreichen, unterhält es eine institutsübergreifende Technologieplattform, die aus einzelnen Prozessmodulen und vollständigen Fertigungsabläufen besteht. Die Technologieplattform wird laufend an die neuesten Erkenntnisse und Anforderungen der Forschungsprojekte des SFB angepasst und erweitert.

• DFG-Verfahren: Sonderforschungsbereiche
• Teilprojekt zu: SFB 1261: Magnetoelektrische Sensoren: von Kompositmaterialien zu biomagnetischer Diagnose
• Antragstellende Institution: Christian-Albrechts-Universität zu Kiel
• Teilprojektleiter: Dr.-Ing. Björn Gojdka, seit 7/2024; Professor Dr. Fabian Lofink, von 3/2023 bis 6/2024; Dr. Dirk Meyners; Dr.-Ing. Florian Niekiel, von 7/2020 bis 2/2023