Berliner Netzwerk für Elektronenmikroskopie - Elektronenholographie an Nanoskaligen Halbleiterstrukturen

• Antragsteller: Professor Dr. Christoph Tobias Koch; Professor Dr. Michael Lehmann
• Fachliche Zuordnung: Mechanische Eigenschaften von metallischen Werkstoffen und ihre mikrostrukturellen Ursachen ; Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
• Förderung: Förderung von 2017 bis 2021
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 324666853

Es soll ein Netzwerk für Elektronenmikroskopie an Halbleiternanostrukturen etabliert werden, in dem verschiedene Universitäten und Forschungseinrichtungen im Berliner Raum aktiv zusammenarbeiten. Es soll sowohl Elektronenmikroskopielabors, als auch die Hersteller von Halbleiternanostrukturen umfassen. Ausgangspunkt für dieses Netzwerk soll die Etablierung eines Gerätezentrums für Elektronenholographie sein, welches state-of-the-art elektronenholographische Untersuchungen zu mechanischen Verspannungen, Ladungsträgerkonzentrationen, Elektrischen Feldern, und ähnlicher Charakterisierung anbietet. Als Keimzelle für das zu etablierende Netzwerk werden kick-off Projekte mit verschiedenen Partnern definiert. Langfristig soll die vom Netzwerk zur Verfügung gestellte Palette der elektronenmikroskopischen Charakterisierungsmethoden über die Elektronenholographie hinaus deutlich erweitert werden. Die Anwendung von cutting-edge Charakterisierungsmethoden auf hochrelevanten Problemstellungen verschafft dem Netzwerk und dem Gerätezentrum für Elektronenholographie nationale und internationale Sichtbarkeit.

• DFG-Verfahren: Gerätezentren
• Beteiligte Personen: Professorin Dr.-Ing. Silke Christiansen; Dr. Gerrit Fiol; Christoph Hums; Dr. Katja Höflich; Professor Dr. Bernd Rech; Professor Dr. Thomas Schröder; Dr. Markus Wollgarten