Wafer-Level Sensorstruktur zur Bestimmung von Ionenenergie- und Ionenwinkelverteilungsfunktionen in Niederdruckplasmen

Antragsteller Professor Dr.-Ing. Thomas Mussenbrock; Dr.-Ing. Sven Zimmermann

Fachliche Zuordnung Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik

Förderung Förderung von 2017 bis 2023