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Wafer-Level Sensorstruktur zur Bestimmung von Ionenenergie- und Ionenwinkelverteilungsfunktionen in Niederdruckplasmen
Antragsteller
Professor Dr.-Ing. Thomas Mussenbrock; Dr.-Ing. Sven Zimmermann
Fachliche Zuordnung
Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
Förderung
Förderung von 2017 bis 2023
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 335529250
Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren
Sachbeihilfen