Funktionalisierung von Mikrosystemen mit Beschichtungen
Zusammenfassung der Projektergebnisse
Die Produktion von maßgeschneiderten dreidimensionalen Strukturen im Mikro- und Nanometerbereich durch die Mikrobearbeitungstechnologie mit Hilfe von Femtosekundenlasern ist erst seit ungefähr 25 Jahren möglich. Ein wesentlicher Aspekt für Anwendungen dieser Technologie in der Mikrooptik, der Mikromechanik, der Mikroelektronik und der Mikrochemie ist die Möglichkeit - die über diese Mikrobearbeitungstechnologie erhaltenen Strukturen - an ihren Oberflächen und in ihrem Volumen zu modifizieren. Solche Modifikationen erfordern häufig für zahlreiche Anwendungen die Einführung von Metallen oder Metallkomponenten in solche Mikro- oder Nanosysteme. Die Chemische Gasphasenabscheidung von Organometallverbindungen (OMCVD) erlaubt die Metallabscheidung aus der Gasphase, ohne diese häufig sehr temperaturempfindlichen mikro- oder nanostruktuierten Substrate zu beschädigen. Die wesentliche Zielsetzung dieses Antrages ist in einem ersten Schritt mit Hilfe der Mikrobearbeitungstechnologie mit Femtosekundenlasern oder 3D-Druckern neuartige komplexe metallbasierte dreidimensionale Mikro- und Nanostrukturen mit anspruchsvollen nicht geradlinigen Geometrien zu erhalten. In einem nachfolgenden Schritt sollen diese mittels der OMCVD mit interessanten Metallen funktionalisiert werden, so dass neuartige Anwendungen in den Bereichen in Mikro(Nano)optik, Mikro(Nano)mechanik, Mikro(Nano)elektronik und Mikro(Nano)chemie möglich werden können. In einem letzten (Arbeits-)schritt wird durch Wegnahme / Wegätzen / Auflösen des die geometrisch komplexe dreidimensionale metallische Abscheidungsstruktur umgebenden mikro- oder nanostrukturierten (hohlen) Substrates (kann auch Opferstruktur / Matrixstruktur / Hilfsstruktur / negative Struktur / Trägerstruktur bezeichnet werden) eben diese komplexe metallische Abscheidungsstruktur als eigenständige Mikro- oder Nanostruktur freigelegt.
Projektbezogene Publikationen (Auswahl)
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NANOSYSTEMS WITH COATINGS
J. Wochnowski
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Flexible High-Energy Optics using Coated Hollow Capillaries, MLZ Conference 2022
J. Wochnowski
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Highly Flexible Coated Hollow Capillaries for Synchrotron Radiation XOPT Conference 2022
J. Wochnowski
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Selected Coating Technologies for Modification of Micro- and Nanostructured Materials, ZJUT 2023
J. Wochnowski
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Highly Flexible Coated Hollow Capillaries for Synchrotron Radiation, Denver-X-Ray Conferences 2024
J. Wochnowski
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Highly Flexible Coated Hollow Capillaries for Synchrotron Radiation, SRI Conferences 2024
J. Wochnowski
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Coatings for Micro- and Nanosystems by OMCVD, CAU 2025
J. Wochnowski
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Highly flexible beam guides for high-energy radiation, FRMII@TUM 2025
J. Wochnowski
