Subfeld-Adressierung ringförmiger MEMS Shutter-Arrays mit polygonalen Strukturen

• Antragsteller: Professor Dr. Hartmut Hillmer
• Fachliche Zuordnung: Mikrosysteme
• Förderung: Förderung von 2021 bis 2025
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 469360309

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Link zum Abschlussbericht

https://doi.org/10.34657/28884