Subfeld-Adressierung ringförmiger MEMS Shutter-Arrays mit polygonalen Strukturen

• Antragsteller: Professor Dr. Hartmut Hillmer
• Fachliche Zuordnung: Mikrosysteme
• Förderung: Förderung seit 2021
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 469360309

Die optische oder Interferenz-Mikroskopie benötigt räumlich variable Beleuchtungs-Szenarien, kann aber oft nicht alle Erfordernisse gleichzeitig erfüllen wie z.B. Schnelligkeit, Farbneutralität und Verfügbarkeit zahlreicher Kombinationen an geometrischen Mustern. MEMS Shutter-Arrays können Licht durch elektrostatische Aktuation dynamisch modulieren und allen Anforderungen gleichermaßen gerecht werden. Durch Simulation, maßgeschneiderte Designs von Subfeld-Adressierungen, deren technologischer Realisierung und messtechnischer Charakterisierung soll die Machbarkeit mikrosystemtechnischer Modulatoren, die in Transmission arbeiten, grundlagenwissenschaftlich erforscht werden. Dabei soll Methodenentwicklung vorangetrieben werden und die Grenzen der Polygonflächen-förmigen MEMS Modulatoren bezüglich Schnelligkeit, Temperaturbereich, Anzahl an Kombinationsmöglichkeiten und Nutzerakzeptanz identifiziert werden. Die Einzelshutter sollen dabei eine drei- bzw. fünfteckige Form haben, wobei die geraden Scharniere eine Kette in Form eines Polygons bilden. Mehrere dieser Shutterringe bilden einen Subfeldring, der wiederum in vier Quadranten unterteilt ist. Die Quadranten bilden einzeln adressierbare Subfelder. Das Projekt zielt dabei auf spezifische Subfeldformen ab, welche durch diejenigen Flächen definiert werden, an denen sich untere und obere Elektrodenfläche überlagern. Die Formen sind beispielhaft auf die zukünftigen Erfordernisse der Interferenzmikroskopie ausgerichtet. Die Machbarkeitsstudie soll aber aus grundlagenwissenschaftlicher Sicht stets auch für andere Anwendungen ausgelegt bleiben.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen