On-Wafer Messplatz

• Fachliche Zuordnung: Elektrotechnik und Informationstechnik
• Förderung: Förderung in 2007
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 49639730

In den letzten Jahren sind wichtige Forschungsabteilungen, die in der Vergangenheit Partner bei derBereitstellung von zuverlässigen Messdaten zur ModeIIVerifikation und Validierung der numerischenSimulationwaren, weggefallen. Andererseits werden in der Silizium-Mikroelektronik in starkzunehmendem Maße neue Materialen und neue Materialzustände betrachtet, so dass dieNotwendigkeit zur Entwicklung verbesserter oder sogar neuer Modelle in den letzten Jahren starkgestiegen ist, wodurch wiederum der Bedarf an Modellverifikation und den dazu notwendigenMessdaten sehr zugenommen hat. Die Modellentwicklungsarbeiten sind in den letzten 10 Jahrenbereits dadurch stark behindert worden, dass in sich konsistente Messdaten für die Modellverifikationentweder gar nicht oder nur mit großer Zeitverzögerung beschaffbar waren. Andererseits ist dieIndustrie durchaus bereit, Scheiben mit geeigneten, gut prozesstechnisch bezüglich Geometrie,Dotierung und Verspannungszustand charakterisierten Teststrukturen zeitnah zur Messung zurVerfügung zu stellen. Der Engpass bei der Bereitstellung der Messdaten von Seiten der Industrie liegtsomit vorwiegend in der Verfügbarkeit der entsprechenden Messstationen und der Verfügbarkeit derentsprechenden Mitarbeiter begründet. Vorrangiges Ziel der Beschaffung des hier beantragtenMessplatzes ist, diesen Engpass zu beheben.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Gerätegruppe: 2780 Spezielle Meß- und Prüfgeräte für Halbleiter und Röhren (außer 620-659)
• Antragstellende Institution: Technische Universität Braunschweig
• Leiter: Professor Dr. Bernd Meinerzhagen