ParaCoat - Entwicklung von PECVD-Prozessen zur Reduktion von Systemkontaminationen und der Prozessalterung (T10#)

• Fachliche Zuordnung: Beschichtungs- und Oberflächentechnik
• Förderung: Förderung von 2023 bis 2026
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 138690629

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Transregios (Transferprojekt)
• Teilprojekt zu: TRR 87: Gepulste Hochleistungsplasmen zur Synthese nanostrukturierter Funktionsschichten
• Antragstellende Institution: Ruhr-Universität Bochum
• Teilprojektleiter: Professor Dr. Rainer Dahlmann